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2023-10
离子束溅射镀膜和离子束刻蚀
1.离子束溅射镀膜
用中等能量的离子束轰击材料表面，离子具有的能量使之进入不了材料的晶格中，而是把能量传递给靶材原子，使其产生溅射作用飞离材料表面，而后在工件上沉积形成薄膜。
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2023-10
同轴电磁场型离子镀膜机
1.空心阴极离子镀膜机和热丝弧离子镀膜机
空心阴极枪、热丝弧枪安装在镀膜室顶端，底端安装阳极，镀膜室周边的上下安装两个电磁线圈。弧光电子流从上向下做螺旋线运动。
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2023-10
金属有机化合物气相沉积技术
金属有机化合物气相沉积技术 (metal organic chemical vapor deposition， MOCVD），采用的气态物质源是金属有机化合物气体，沉积的基本反应过程与CVD相似。
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2023-10
类金刚石碳基薄膜的应用
(1)切削刀具领域DLC薄膜用作刀具(如钻头、铣刀、硬质合金刀片等)涂层，能提高刀具寿命和刀具边缘的硬度，减少刃磨时间，而且还具有非常低的摩擦因数、低黏附性和优良的耐磨性。
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